机器人【rén】：目前【qián】公司已成功【gōng】研【yán】发多款新型双臂真空机【jī】械【xiè】手，部分产品【pǐn】已进入客户端验证阶段，预计【jì】未【wèi】来将成为公司半导体业务【wù】新的增【zēng】长点

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同【tóng】花顺（300033）金融研究中【zhōng】心【xīn】9-20讯，有【yǒu】投【tóu】资者【zhě】向机器人（300024）提问， 董秘，您好【hǎo】！请【qǐng】问贵公司【sī】有【yǒu】半导体设备的订单？请回复，谢谢。

公司回答表示【shì】，您好，公司半导体【tǐ】装【zhuāng】备业务产【chǎn】品主【zhǔ】要为【wéi】自主研发的真空机械手及集束型设备，包【bāo】括：大气【qì】机械手、真空机械【xiè】手【shǒu】等系列【liè】产【chǎn】品、EFEM、真空传输平台【tái】，主【zhǔ】要应用【yòng】在刻蚀、CVD、PVD、CMP、Descum、立式【shì】炉等【děng】工艺环节及领域，服【fú】务的下游行业是半【bàn】导体工艺设备厂商。2022年度，公司半导体设备产业化应【yīng】用初【chū】具规模【mó】，广泛服【fú】务于硅片生产、晶圆加工、先【xiān】进封【fēng】装及封装【zhuāng】测试【shì】等【děng】半导体制【zhì】造全产【chǎn】业【yè】链，为客户产业链及供【gòng】应链安全的稳定提供【gòng】多元保障，品牌效【xiào】应显现。真【zhēn】空机械手【shǒu】方面，两轴真空【kōng】直驱【qū】机械手产品【pǐn】，已实【shí】现【xiàn】小批量、多批次应用在客【kè】户端，公司目前已完成13种两【liǎng】轴真空直驱机械手【shǒu】平台的研发。三轴真空直驱机械手产【chǎn】品，处于客户端验证阶段【duàn】，其结合【hé】全新控【kòng】制【zhì】器软【ruǎn】硬件平台的应用【yòng】，可支撑下游客户的长期【qī】应用。四【sì】轴真空直【zhí】驱机【jī】械手【shǒu】产品处于研发阶段。目前，公司已成功研【yán】发多款新型双臂真空机【jī】械【xiè】手，部分【fèn】产品已进【jìn】入客户【hù】端【duān】验证阶段，预计未来将成为公司半导体业务新的【de】增【zēng】长点。2022年度，公司【sī】半导体装备业务实现【xiàn】收入2.44亿【yì】元。公司半导体装备业务的具体情况，请您查阅公司《2022年年度【dù】报告》。